| 潔凈等級 | ISO標(biāo)準(zhǔn) | 對應(yīng)中國等級 | ≥0.5μm粒子限值（顆/m3） | 適用場景 |
|---|---|---|---|---|
| ISO 3 | 1級 | - | ≤1,020 | 半導(dǎo)體晶圓制造（極少數(shù)） |
| ISO 4 | 10級 | - | ≤10,200 | 高端芯片光刻區(qū) |
| ISO 5 | 100級 | A級 | ≤3,520 | 半導(dǎo)體封裝、Micro LED生產(chǎn) |
| ISO 6 | 1,000級 | B級 | ≤35,200 | 精密光學(xué)元件、SMT貼片 |
| ISO 7 | 10,000級 | C級 | ≤352,000 | 電子元器件組裝、鋰電涂布 |
| ISO 8 | 100,000級 | D級 | ≤3,520,000 | 普通電子裝配、包裝區(qū)域 |
標(biāo)準(zhǔn)：ANSI/ESD S20.20
要求：
地面表面電阻 10?~10?Ω（防靜電環(huán)氧/PVC）。
工作臺/設(shè)備接地，員工穿戴防靜電服（摩擦電壓＜100V）。
標(biāo)準(zhǔn)：SEMI F21-1102
限值：
| 污染物類型 | 允許濃度（ppt） |
|---|---|
| 酸性氣體（HCl） | ＜1 |
| 堿性氣體（NH?） | ＜10 |
典型范圍：
溫度 22±1℃（半導(dǎo)體需±0.5℃）。
濕度 45±5% RH（防靜電要求可能低至30%）。
| 生產(chǎn)環(huán)節(jié) | 推薦潔凈等級 | 補充要求 |
|---|---|---|
| 晶圓制造（光刻） | ISO 3~4 | AMC控制+防微震 |
| 芯片封裝 | ISO 5 | 防靜電+氮氣保護 |
| PCB印刷（SMT） | ISO 6~7 | 錫膏區(qū)需濕度＜40% RH |
| 鋰電池電極涂布 | ISO 7 | 粉塵濃度＜1mg/m3 |
| 普通電子組裝 | ISO 8 | 防靜電即可 |
懸浮粒子檢測：
儀器：激光粒子計數(shù)器（按ISO 14644-1采樣點布置）。
頻率：空態(tài)/靜態(tài)/動態(tài)三階段測試。
靜電監(jiān)測：
表面電阻測試儀、靜電場分析儀。
AMC檢測：
氣相色譜儀（GC-MS）或離子色譜儀。
動態(tài)控制：
人員活動時，實際粒子數(shù)可能比靜態(tài)測試高1~2個數(shù)量級，需預(yù)留安全余量。
材料兼容性：
禁用木質(zhì)、棉麻等產(chǎn)塵材料，設(shè)備需無油潤滑。
持續(xù)監(jiān)測：
建議安裝在線粒子計數(shù)器+壓差報警系統(tǒng)。
國際：ISO 14644-1、SEMI F21
中國：GB 50073-2013《潔凈廠房設(shè)計規(guī)范》、GB 50472-2008《電子工業(yè)潔凈廠房設(shè)計規(guī)范》
電子廠需根據(jù)產(chǎn)品工藝（如納米級芯片 vs 普通電路板）選擇對應(yīng)等級，并疊加防靜電、AMC等專項控制。建議咨詢專業(yè)潔凈室工程公司進行定制化設(shè)計。
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